Sistemas de inspeção ótica para inspeção e análise rápidas e confiáveis de materiais como semicondutores e wafers, permitindo rapidez no controle de qualidade, deteção de possíveis defeitos e melhoria na tomada de decisão
Diferentes métodos de iluminação e de contraste, tais como campo claro, campo escuro, polarização, contraste de interferência diferencial (DIC), fluorescência (Fluo) e infravermelho (IR) Melhoria da resolução com a luz ultravioleta (UV) e com a iluminação oblíqua
Possibilidade de uso da técnica avançada de campo escuro com objetivas Plan Fluotar (20x, 50x e 100x). Além disso, a objetiva VIS-UV de 150x permite usar todos os métodos de contraste sem necessidade de trocar objetivas
Porta-objetivas motorizado encapsulado, projetado para condições ambientais exigentes
